贵州硅片除气装置生产厂家服务介绍「科创真空」

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm；

2. 极限真空度：2×10-5Pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个Φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动***控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。

真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜，包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等，柜体内设置有一个或多个储物室，储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端，柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖，储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板，托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连，真空除气炉。

真空除气储存柜

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可***工作。

加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方，环境温度是5-35℃，环境湿度是35%~65%的相对湿度；且要保持放置处长期通风良好的位置。

请小心将物品放入机台，关上箱门，检查是否密闭。试验结速后，站侧面打开箱门，以免热气烫到面部。