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北京科创鼎新真空技术有限公司

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北京科创鼎新真空技术有限公司
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北京硅片除气装置生产厂家来电咨询 北京科创真空

发布时间:2022-05-25 05:32:47        

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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气炉的构成介绍

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。

真空箱:采用304不锈钢材质制造,分为上中下三个***的真空箱室,其内表面在加工后经除油、电抛光处理,保证了较少的藏气,提高了真空箱室的抽空效率和极限真空。真空箱室外部有加强筋,保证真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个Φ100石英观察窗,真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接,方便快捷,并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门,氟胶圈型式密封,向右侧侧开门。



真空除气储存柜主要参数

1、炉型结构:卧式与立式,单室与双室或多室,炉体炉门采用双层水冷,前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。

2、极限温度:1500℃

3、工作区尺寸:按照用户需求定制

4、设备总功率:20-100 KW(含加热系统、真空机组、制冷机)

5、电源频率:50Hz

6、电源电压:三相380 V(±10V)



真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。



真空除气储存柜的使用

1、真空除气装置,真空除气炉报价,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)

2、真空度设定操作见操作说明书,用不到的功能禁止调整。

3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。



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